60-70L / Насос жидкого кислорода запасных частей завода кислорода расхода потока х криогенный

60-70L / Насос жидкого кислорода запасных частей завода кислорода расхода потока х криогенный

1. описание

Крйопумп или «криогенный насос» вакуумный насос который поглощает газы и пары путем конденсировать их на холодной поверхности, но только эффективны на некоторых газах. Эффективность зависит от замерзать и температур кипения газа по отношению к температуре крйопумп. Они иногда использованы для того чтобы преградить определенные загрязняющие елементы, например перед насосом диффузии для того чтобы поглотить бакстреаминг масло, или перед датчиком МкЛеод для того чтобы держать вне воду. В этой функции, они вызваны крйотрап, ватерпумп или охлаждаемой ловушкой, даже если физический механизм это же как для крйопумп.

Крйотраппинг может также сослаться на несколько различное влияние, где молекулы увеличат их срок проживания на холодной поверхности без фактически замерзать (перехлаждение). Задержка между молекулой посягая на поверхности и отскакивая от ее. Кинетическая энергия будет потеряна по мере того как молекулы замедляют. Например, водопод не сконденсирует на 8 Кельвин, но он можно крйотраппед. Это эффектно поглощает молекулы в течение длительного периода и таким образом извлекает их от окружающей среды вакуума как раз как крйопумпинг.

2. деятельность

Крйопумпс обыкновенно охлажено обжатым гелием, хотя они могут также использовать сухой лед, жидкий азот, или отдельно стоящие версии могут включить встроенное крйокоолер. Дефлекторы часто прикреплены в холодную голову для того чтобы расширить поверхностную область доступную для конденсации, но эти также увеличивают понимание радиационной жары крйопумп. С течением времени, поверхность окончательно насыщает с конденсатом и таким образом скорость откачки постепенно упадет до нуля. Она будет держать поглощенные газы покуда она останется холодной, но она не сконденсирует свежие газы от утечек или бакстреаминг до тех пор пока она не будет регенерирована. Сатурация случается очень быстро в низких вакуумах, поэтому крйопумпс обычно только использованы в системах высокого или ультравысокого вакуума.

Крйопумп обеспечивает быстро, чистый нагнетать всех газов в 10⁻³ к 10 торр.⁻⁹ выстраивает в ряд. Крйопумп приводится в действие дальше принцип что газы можно сконденсировать и придержать на весьма - низкие давления пара, достигающ быстрых ходов и объемов. Холодная голова состоит из двухступенного холодного главного цилиндра (части сосуда вакуума) и собрания диспласер тягового устройств. Эти совместно производят рефрижерацию замкнутого цикла на температурах которые выстраивают в ряд от 60 к 80К для станции первой стадии холодной до 10 к 20К для станции втор-этапа холодной, типично.

Некоторые крйопумпс имеют множественные этапы на различных низких температурах, с наружными этапами защищая самые холодные внутренние этапы. Наружные этапы конденсируют высокие газы температуры кипения как вода и масло, таким образом сохраняющ поверхностной емкость зоны и рефрижерации внутренних этапов для более низких газов температуры кипения как азот.

По мере того как охлаждая температуры уменьшают при использовании сухого льда, жидкого азота, тогда обжатого гелия, более низкие газы молекулярн-веса можно поглотить. Азот, гелий, и водопод запутывания требуют весьма - низких температур (~10К) и большой поверхностной области как описано ниже. Даже на этой температуре, более светлые газы гелий и водопод имеют очень низкую эффективность запутывания и преобладающие молекулы в системах ультравысокого вакуума.

Крйопумпс часто совмещено с насосами сорбирования путем покрывать холодную голову с сильно адсорбируя материалами как активированный уголь или цеолит. По мере того как сорбент насыщает, эффективность насоса сорбирования уменьшает, но может быть перезаряжена путем нагревать материал цеолита (предпочтительно под условиями низкого давления) к оутгас оно. Температура нервного расстройства структуры материала цеолита пористой может ограничивать максимальную температуру что она может быть нагрета к для регенерации.

Насосы сорбирования тип крйопумп которое часто использовано как насосы обдирки для уменьшения давлений от ряда атмосферического к заказанн 0,1 ПА (10 торр.⁻³), пока низкие давления достиганы используя насос отделкой (см. вакуум).

3. регенерация

Регенерация крйопумп процесс испарять поглощенные газы. Во время цикла регенерации, крйопумп греется к комнатной температуре или высокий, позволяющ поглощенным газам изменить от полупроводникового на газовое состояние и таким образом быть выпущенным от крйопумп через клапан сброса давления в атмосферу.

Большинств производственное оборудование используя крйопумп имеет середины изолировать крйопумп от камеры вакуума поэтому регенерация случается без подвергать система действию вакуума выпущенных газов как водяной пар. Водяной пар самый трудный естественный элемент, который нужно извлечь из стенок камеры вакуума на подвержении к атмосфере должной к образованию монослоя и выпуску облигаций водопода. Добавление жары к сухому чистка-газу азота быстро пройдет подогрев и уменьшит время регенерации.

Когда регенерация закончена крйопумп будет роугхэд к изолированному 50μТорр (микроторр 50), и тариф--подъем (ROR) будет проконтролирован для того чтобы испытать для полной регенерации. Если РОР превышает 10μТорр/мин, то крйопумп будет требовать дополнительного продувает время.